主要技术特点:
Measurement Range -
Model 542A-1 :
±10 kV DC or peak AC
Model 542A-2 :
±20 kV DC or peak AC
Measurement Accuracy -
Better than ±5% of the reading ±0.2% of full scale over a probe-to-surface separation of
Model 542A-1:
15 mm to 30 mm
Model 542A-2:
30 mm to 60 mm
Alphanumeric LCD Display:
20 x 4 characters
Trek Model 542A静电伏特计(图为542P-S型探头)提供了与EOS/ESD过程相关的静电表面电压的精确非接触测量。该仪器配置有一个微型静电场斩波探头,可远程定位并容易地定位在工艺设备内,以在电离或非电离环境中提供高精度、非接触、直流稳定、间距独立的电压测量。20x4字母数字液晶显示屏显示当前测量电压、正峰值电压值、负峰值电压值和附加菜单信息。